专利名称:一种介质薄膜光学参数的测量装置专利类型:实用新型专利发明人:宋鹏宇,周骏,谭龙,袁恩杨申请号:CN201320272694.5申请日:20130516公开号:CN203572632U公开日:20140430
摘要:本实用新型公开了一种介质薄膜光学参数的测量装置,该测量装置包括用于置放样品的样品台组件、折射率和厚度测量组件、透射率和反射率测量组件、控制器;折射率和厚度测量组件由激光光源组件、偏振器、半透半反镜、圆孔光阑、自准探测器和测量探测器组成,透射率和反射率测量组件由白光光源、与白光光源连接的用于准直光路的准直透镜组、用于收集经置放于样品台组件上的样品透射的光或反射的光的积分球、与积分球连接的光谱仪组成,优点是该测量装置利用折射率和厚度测量组件可测得样品的折射率和厚度,利用透射率和反射率测量组件可测得样品的透射率和反射率,实现了多种光学参数的测量,并且测量精度高。
申请人:宁波大学
地址:315211 浙江省宁波市江北区风华路818号
国籍:CN
代理机构:宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)
代理人:周珏
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容