专利名称：用于制造测量流体压力的压力传感器装置的方法和
压力传感器装置
专利类型：发明专利
发明人：D·埃特,P·布雷乌辛,R·文克申请号：CN201810875703.7申请日：20180803公开号：CN109387317A公开日：20190226
摘要：本发明提出一种用于制造用于测量流体压力的压力传感器装置的方法，其中，方法包括以下步骤：提供压力单元，该压力单元具有用于接收要测量其压力的流体的压力通道和金属膜片、尤其是钢膜片，其中，金属膜片至少在一侧上限界压力通道；将玻璃元件引入到压力单元的凹口中，其中，凹口构造在金属膜片的背离压力通道的一侧上，而不使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接；将用于确定压力通道中的流体压力的应变测量设备和/或用于确定压力通道中的流体压力的半导体元件布置在玻璃元件上；和加热玻璃元件以使玻璃元件与金属膜片材料锁合地连接并且使应变测量设备和/或半导体元件与玻璃元件材料锁合地连接。
申请人：罗伯特·博世有限公司
地址：德国斯图加特
国籍：DE
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：侯鸣慧
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