专利名称：一种解键合装置专利类型：实用新型专利发明人：张昊,白龙
申请号：CN202021986258.0申请日：20200911公开号：CN212907665U公开日：20210406
摘要：本实用新型提供一种解键合装置和方法，解键合装置包括上晶圆装载组件、下晶圆装载组件和装载本体；上晶圆装载组件包括夹紧环和夹紧控制机构，夹紧环为开口环且用于夹持上晶圆，夹紧控制机构用于控制夹紧环的开口度以实现对上晶圆夹紧程度的控制；夹紧环和夹紧控制机构均安装于装载本体；下晶圆装载组件用于装载下晶圆，且安装于装载本体。采用本实用新型解键合装置，可以减少甚至消除因夹持上晶圆过松而脱落或过紧而夹碎的情况的发生，从而顺利完成上晶圆与下晶圆的解键合工艺。
申请人：北京华卓精科科技股份有限公司
地址：100176 北京市大兴区经济技术开发区经海路156号院10号楼4层
国籍：CN
代理机构：北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王献茹
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