专利名称：大口径光学元件损伤在线检测装置专利类型：实用新型专利
发明人：任冰强,黄惠杰,张维新,赵永凯,刘丹,韩广礼,杜龙龙,
王树森,路敦武
申请号：CN03232286.0申请日：20030618公开号：CN2639880Y公开日：20040908
摘要：一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和CCD摄像机；激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜的表面成45°，通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成；所述的CCD摄像机和计算机组成图像处理系统。本实用新型的优点是操作简单、检测效率高、检测可靠性高，既可目视观测，又可用CCD摄像机采集图像，可以准确地得出损伤点的尺寸和位置。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
代理人：张泽纯
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