（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201721350146.4 （22）申请日 2017.10.18
（71）申请人 意法半导体股份有限公司
地址 意大利阿格拉布里安扎
（10）申请公布号 CN207483357U
（43）申请公布日 2018.06.12
（72）发明人 D·朱斯蒂
（74）专利代理机构 北京市金杜律师事务所
代理人 王茂华
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
MEMS 设备和微流体设备
（57）摘要
所描述的是一种MEMS设备和微流体设
备，该MEMS设备包括压电致动器，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯穿。
法律状态
法律状态公告日
2018-06-12
授权
法律状态信息
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法律状态
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说明书
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