专利名称：一种ITO管状靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：周晓龙,曹函星,王志勇,曹建春申请号：CN201710025297.0申请日：20170113公开号：CN107244911A公开日：20171013
摘要：本发明公开一种ITO管状靶材的制备方法，以ITO纳米粉末为原料，利用旋转模具和超声波振动装置对制备好的ITO浆料进行脱水及成型，得到ITO靶材素坯，将该素坯在低温下进行脱脂处理，然后将脱脂素坯在一定的烧结条件下烧结得到ITO管状靶材；其优点在于工艺更容易进行自动化生产，降低了劳动强度和劳动力成本，所制备的ITO旋转靶材产品组织结构均匀、稳定，致密度高，能够满足下游企业的应用要求，具有良好的市场前景。
申请人：昆明理工大学
地址：650093 云南省昆明市五华区学府路253号
国籍：CN
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