专利名称：一种管状ITO靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：梅方胜,陈立三,彭小苏,赵为上,陈卫飞,佘旭,李文伟申请号：CN201711229857.0申请日：20171129公开号：CN108002815A公开日：20180508
摘要：本发明提供了一种管状ITO靶材的制备方法，该方法包括将ITO粉末装入包套容器，经热等静压处理制备ITO管状靶材，该包套容器包括一个内圆筒包套和一个外圆筒包套，内圆筒包套的壁厚是外圆筒包套壁厚的2倍以上，内圆筒包套的壁厚为3~10mm，外圆筒包套的壁厚为1~3mm。本发明的制备方法，可由ITO废靶经机械破碎后经热等静压法一步成型直接制备为管状ITO靶材，相比传统工艺大大缩短了废靶回收生成精铟再利用制成靶材的周期，节约了生产成本，容易实现规模化生产，生产效率高；此外生产过程中不需使用强酸强碱及有机添加剂，减少了环境污染。
申请人：株洲冶炼集团股份有限公司
地址：412007 湖南省株洲市天元区渌江路10号
国籍：CN
代理机构：长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：杨斌
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