专利名称：一种同轴频率调制MEMS陀螺仪专利类型：发明专利
发明人：黄向向,杨敏,卢卡·卢斯基,关健,孙斯佳申请号：CN202010472675.1申请日：20200529公开号：CN111504293A公开日：20200807
摘要：一种同轴频率调制MEMS陀螺仪，包括硅弹簧、锚点、内部质量块、外部质量块、感应梳齿状结构、共振微调；共振微调设置在内部质量块的四个侧面以及外部质量块的四个侧面上；四个感应梳齿状结构设置在内部质量块的周围，分别通过硅弹簧与内部质量块连接；四个感应梳齿状结构和四个锚点间隔布置成环状，之间通过硅弹簧连接，四个感应梳齿状结构分别通过硅弹簧与布置在外部质量块的四个侧面上的共振微调连接。本发明的优点：同轴频率调制陀螺仪有两个同轴质量块，其中一个是外部质量块为框架结构，另一个质量块为内部质量块。两个质量块具有相同的中心。这种同轴双质量块结构可以消除由于工艺和温度渐变引起的漂移，测量精度高，稳定性好。
申请人：罕王微电子(辽宁)有限公司
地址：113000 辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼(一层)
国籍：CN
代理机构：沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人：张晨
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容