专利名称：MEMS玻璃球面超声换能器片上集成系统及其制备
方法
专利类型：发明专利
发明人：尚金堂,罗新虎,秦顺金申请号：CN201110300696.6申请日：20110930公开号：CN102430512A公开日：20120502
摘要：本发明公开一种集成球面玻璃腔聚焦超声发射器的微流道网格片上实验系统的制备方法，其特征在于以下步骤：第一步，利用热成型方法制备球形玻璃微腔或圆柱形微流道，第二步，在制备的球形玻璃微腔或圆柱形微流道上集成金属条带等振动激励源，第三步，在集成了激励源的玻璃微流道网格集成片上实验系统中放置生物细胞或分子，第四步，利用该集成片上实验系统对生物细胞或分子进行处理。本发明基于玻璃球腔自身在外加电激励或电磁激励的条件下，产生频率在
20kHz~1MHz的谐振。该谐振频率频段为超声频段，可以用超声波产生的空化效应应用于生物或者化学领域的微处理，例如细胞破碎、DNA打断等。
申请人：东南大学
地址：210096 江苏省南京市四牌楼2号
国籍：CN
代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：楼然
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