专利名称：脂环族不饱和化合物、聚合物、化学增幅抗蚀剂组
合物及采用所述组合物形成图案的方法
专利类型：发明专利
发明人：前田胜美,中野嘉一郎申请号：CN200480006191.7申请日：20040304公开号：CN1759088A公开日：20060412
摘要：本发明公开了以通式(1)表示的新颖脂环族不饱和化合物：其中R和R至少之一是氟原子或氟化烷基；以及通过聚合含有该脂环族化合物的聚合物前体而生成的聚合物。在采用至多190nm波长的光照的平版印刷中，该聚合物可用作化学增幅抗蚀剂，其对用于曝光中的照射光显示出出色的透明度，对衬底具有出色的粘附性，且具有出色的抗干腐蚀性。
申请人：日本电气株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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