专利名称：一种太阳能电池的选择性掺杂方法专利类型：发明专利发明人：邓洁
申请号：CN201510395554.0申请日：20130401公开号：CN105161568A公开日：20151216
摘要：本发明涉及一种太阳能电池的选择性掺杂方法，步骤如下：在硅片上表面淀积磷硅玻璃；将淀积后的硅片进行高温扩散，使磷元素扩散入硅片，形成PN结；除去硅片上表面顶电极区以外的磷硅玻璃；在硅片上表面淀积本征非晶硅层；将硅片置于无氧环境中进行高温扩散，使非硅片顶电极区的磷元素扩散入非晶硅层，顶电极区磷硅玻璃中的磷元素进一步向顶电极区扩散；去除硅片表面的非晶硅层和磷硅玻璃，完成太阳能电池的逆扩散选择性掺杂。本发明采用逆扩散的方法，通过非晶硅吸收非顶电极区的杂质，使非顶电极区的掺杂浓度降低，同时顶电极区进行了二次掺杂，导致顶电极区与非顶电极区的掺杂浓度差进一步增大，提高了选择性掺杂的效果。
申请人：南通大学
地址：226019 江苏省南通市啬园路9号
国籍：CN
代理机构：南京同泽专利事务所(特殊普通合伙)
代理人：蔡晶晶
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